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Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪MProbe 让 你 成 为 测 量 专 家 !
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量:氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (聚对二甲苯,PMMA,聚酰胺), 薄金属薄膜等。
厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的。
映射选项包括:1.XY电动平台(150,200和300毫米游程)2.固体19 x19"铝合金平台3.探头架(反射/透射测量均可)与光学系统4.调节器5.支持软件(映射配方,等等)。
定位精度
< 2 μm
分辨率
< 0.5 μm
驱动
步进电机
调节器
一体化平台
通讯
串口(RS232)
尺寸
19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”阶段)
重量
12 kg
硬件选项
-150XYM
6”x6” (150x150mm) XY电动平台
-200XYM
8 x8”(200x200mm) XY电动平台
-300XYM
12x12”(300x300mm) XY电动平台
-VAC
真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔)
Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪, semiconsoft MProbe
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