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·便携式
·灵活
·高精度
·快速
·稳健可靠
白光干涉法是一个确定地形和表面光滑粗糙的方法。测量精度可达到近似纳米理论上无限的高度范围。便携式白光干涉仪能用来能测量和分析大型工件。该仪器可以直接放在表面测量。因为底部特殊的三点设计,该设备可以直接放在表面被测量,甚至弯曲表面是可以衡量的。数据分析是在笔记本或桌面电脑原位做的。这款白光干涉仪尺寸紧凑和结构稳健,因而可以用在许多不同的情况使用。除了平常的研究调查应用,该设备主要是用来质量管理和过程控制。这款白光干涉仪通过其快速、准确的检测,以最优条件生成有意义的规格来确保产品和流程的质量。
测量系统
测量原理
白光干涉法
z-定位系统
Piezo 物镜调节系统
高度测量范围垂直分辨率
Up to 400 μm<1 nm
尺寸
270x127x165 mm(HxWxD)
物镜放大倍数横向测量范围最小分辨率
10x or 20x480x360 um² or 320x240 um²1.20 um or 0.90 um
测量时间
< 1min.
软件
smartWLI
软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出的3D数据,自动拼接模块
MountainsMap®
广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定,顺序处理,测量记录
文档格式
ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIFF
便携式白光干涉仪, smartWLI-portable
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