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主动隔振系统:电子显微镜隔振&Herz
主动隔振系统是通过持续感应输入振动并动态消除来运作。在每个系统中,至少有六个振动传感器,压电加速度计,用于感应检测仪器的振动。它们的信号被送入中央处理器,该中央处理器将信号整合起来,并向执行器发送一个消除信号。旧的执行器是音圈执行器(扬声器);新的执行器是压电传感器,其产生的振动与输入振动相等且异相,消除了输入的振动。有一组弹簧支撑系统,提供被动隔振。该系统具有反馈回路,可以抑制系统的结构共振。该反馈回路消除了每个被动隔振系统中出现的低频共振和附带共振。
主动隔振系统:电子显微镜隔振&Herz, AVI-400
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