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SEM扫描电子显微镜用多功能离子溅射仪(深圳市速普仪器有限公司)

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桌面级SEM扫描电镜用多功能离子溅射仪,特别适用于FE-SEM高分辨扫描电镜样品的喷金以及样品等离子体清洗等多种用途。采用分子泵泵组获得< 9*10-6 Torr本底真空,可以在mTorr气压下实现磁控溅射喷金,获得更为细腻的金膜,以满

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