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DSC3000 Load-Lock磁控溅射镀膜机
参考价：面议
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参数
| 产地类别：国产 | 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 |
| 供应商性质：生产商 | 价格范围：5万-10万 | 真空腔：<1.0E-4 Pa |
| 溅射靶尺寸：靶材尺寸 Ø 75 *0.1-5 mm /2只；靶材尺寸 Ø 5 0*0.1-5 mm /3只 | 基台：6英寸样品台 | 溅射电压：恒功率磁控DC溅射电源 Max. 300W （可选国产或进口品牌） 偏压DC溅射电源 0-400V电源（选配） |
| 真空测量：测量范围大气压到1.0E-8Torr，进口品牌复合真空计 | 控制方式：提供客户端工艺菜单编辑软件 | 真空泵： 标配干泵+2台分子泵组；>7m3/h 机械泵+250 L/S 分子泵 |
| 外形尺寸：800 mm宽*1500 mm深*1500 mm高 |
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