GASLOOP-V100靶电压气体闭环控制器

Gas loop-V靶电压气体闭环控制器是一种单通道靶电压信号输入，可控制多通道输出气体闭环控制系统，根据等离子体状态，快速调节反应气体流量。 

工作模式有三种：滞回曲线模式、闭环反馈控制模式、恒定气体流量模式。控制软件操作采用电脑，Windows视窗界面控制，网络通讯接口，可以实现远程诊断功能。 
适用于反应溅射中，稳定工作点或实现高沉积速率；对多层膜或分段沉积，通过界面控制就可以完成。搭配快速气体流量计控制器MFC，简单易用的软件界面，具有高性价比和高可靠性等特点。

技术规格 参数 

产品型号    Gasloop  V102或V104 

控制信号    1通道靶电压信号（0-10V） 

工作模式    滞回模式、反馈模式、恒流模式三种 

气体控制 

   V102型号可接2 通道 MFC气体流量计 （0-5V模拟量输出） 

   可设定2通道流量计设定值比例 

   V104型号可接4通道 MFC气体流量计 （0-5V模拟量输出） 

   可设定4通道流量计设定值比例 

软件界面    Windows 视窗界面 

界面显示 

   可以显示靶电压-气体流量滞回曲线 

   实时显示靶电压设定值和实际靶电压曲线、 

   实时显示气体实际值曲线 

   实时显示当日靶电压历史曲线 

软件安装要求    Windows XP或Win 7 

通讯接口    Internet网络通讯 

重量     ~1 kg 

电源    220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 

功耗    ~100 W 

冷却方式    空冷 

质量保证    一年免费/终身维护 

备注    以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们

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