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S20 高真空双靶离子溅射仪
参考价：面议
历史价格
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参数
| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 |
产品介绍
S20 高真空双靶离子溅射仪
可喷镀金属：Au、Pt、Pd、Ir等单金属和任意组份的 Pt-Au、Pt-Pd 合金等
双靶磁控溅射阴极：特色叠层配方
无油高真空泵组：紧凑轻量化
双靶倾斜设计+旋转样品台：喷镀更均匀
产品介绍
S20 主要定位：>10万倍以上 超高分辨FESEM场景
内置定制高真空泵组：Pt 单喷重复性好，无油无碳氢污染、喷镀节拍快、紧凑轻量化
特色Pt-Au 叠层专利（兼顾保护/导电）：特别适合易损伤样品场景/ 3D样品
样品喷镀参数通用性强：30s Pt或Pt-Au叠层对满足大多数样品喷镀要求
探头通用性强：Pt-Au叠层在ETD和INLENS探头综合成像效果优于Pt；助力实时高倍图像/能谱-实现高效率
基本参数
| 技术规格 | 参数 |
| 真空泵组 | 涡轮分子泵+无油隔膜泵 |
| 抽速 | ≥隔膜泵 0.7 m3/h +分子泵30.5 m3/h |
| 极限真空 | < 5*10-2 Pa |
| 工作气压 | 0.5-2Pa |
| 气体控制 | MFC气体质量流量控制器（50 SCCM N2） |
| 泵组启动时间 | < 3-5Min |
| 溅射计时 | 0-300S |
| 真空规 | 高真空复合真空计（测量范围：大气压-10-3Pa） |
| 腔室尺寸 | ~Ø150 *120mm |
| 旋转样品台 | 直径：80mm；转速：60RPM，靶基距：55-70mm连续可调 |
| 溅射靶材 | 靶材尺寸 Ø30 * 0.2-1mm/2片，支持单靶溅射和双靶顺序溅射两种模式 |
| 溅射电源 | 恒功率DC溅射电源 Max. 30W，Max. 100mA，0-800V DC |
| 进气口 | Ø6mm气管 |
| 操作方式 | 触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能 |
| 重量 | ~15kg |
| 尺寸 | ~250mm长 *360mm深 *374mm高 |
| 电源 | 100-240V AC，180W Max. |
| 质保 | 一年 |
| 备注 | 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们 |
S20 高真空双靶离子溅射仪信息由深圳市速普仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于S20 高真空双靶离子溅射仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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