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技术参数:测量模式: STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀) 扫描方式:样品扫描测量头部:AFM和SPM(全内置自动切换),可选配液相模式和纳米压痕测量头最大样品尺寸:直径20mm,厚度10mmXY样品定位装置:移动范围5×5um,软件控制电动定位XY样品定位装置最小步进:0.3um扫描范围:100×100×10um(三维全量程闭环控制扫描器),3×3×2um(低电流模式扫描器)XY方向非线性度:≤0.1%(闭环控制扫描器)Z方向噪音水平(带宽10~1000Hz时的RMS值):闭环控制扫描器(典型值0.03nm,最大0.04nm),低电流模式扫描器(0.02nm)激光光路系统:电动调节,全自动准直视频显微系统:软件控制电动变焦和连续变倍,软件控制变换视野,分辨率2um样品温度控制:室温~150℃主要特点:全自动化桌面型SPM直观易用的软件界面全自动切换AFM和STM扫描头自动调整激光光路(悬臂—激光—四象限光电探测器)软件控制的电动样品定位平台视频显微镜系统软件控制电动聚焦和变倍视频显微镜系统软件控制定位样品观察视野电动开关样品室门切换不同的测量模式,软件自动调节最优参数人体工程学设计
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