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仪器由主机和控制系统、专用工具、操作软件及附件组成。主要用于化学、材料科学(纳米材料、高分子、聚合物、半导体等)、生命科学以及相关领域的研究工作,对各种材料、化工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测,并对其表面形貌进行分析。
扫描隧道显微镜功能:恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱
原子力显微镜功能:形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力-距离曲线、振幅-距离曲线、I(V)谱
刻蚀功能:力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀
教学型原子力显微镜, Solver Nano
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