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HT-RTA59HD高温快速退火系统可以在SiC等高熔点的材料快速加热到1800℃。
仪器特点
1. 可在10s内加热到1800℃;
2. 使用冷墙能快速加热和降温;
3. 使用大功率的红外灯和椭圆形的集中反射炉;
4. 桌面式石英室加热炉;
5. 通过USB连接电脑编辑温控程序;
6. 加热时可通过电脑显示屏实时观察;
应用:
l SiC(GaN)电力设备的氧化膜形成过程的研究和退火;
l 半导体的研究和开发过程;
l 玻璃基板、陶瓷、符合材料的热处理;
l 陶瓷材料的热冲击试验;
l 烧结高熔点金属材料的各种热处理测试;
l 作为温度梯度炉使用;
l 可用作气体分析的加热炉;
仪器参数
型号:
温度范围:
样品尺寸:
加热氛围:
热电偶:
电源要求:
HT-RTA59HD
室温~1800℃
W15mm×L15mm×T1mm
氮气流
B型热电偶(W-Re可选)
AC 200 V 40 A 8 kW
Advance Riko- RTP高温快速热退火炉,HT-RTA59HD
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