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德国海德堡 VPG+200/VPG+400高端光刻机/专业掩膜版制作激光光刻机
参考价：面议
品牌：海德堡仪器 产地：德国 型号：VPG+ 200 / VPG+ 400 样本：来电或留言获取样本
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产品介绍
VPG+200/VPG+400体积图案生成器是专为i线抗蚀剂的多用途掩模制造而设计的光刻系统。它们支持高达410 x 410 mm2的所有标准中小型掩模尺寸。应用包括MEMS掩模制造、先进封装、3D集成、LED和OLED掩模以及微流体。
VPG+配备了经过现场验证的超高速曝光引擎和高功率DPSS激光器。其技术将高分辨率、高精度和出色的图像质量与高吞吐量和灵活的用户可更换书写网格相结合。
TECHNICAL DATA
| Write mode | I-QX | I | II | III |
|---|---|---|---|---|
| Writing performance | ||||
| Minimum structure size [μm] | 0.75 | 0.75 | 1 | 2 |
| Minimum lines and spaces [µm] | 1.5 | 1.5 | 2 | 4 |
| Address grid [nm] | 12.5 | 12.5 | 25 | 50 |
| Edge roughness [3σ, nm] | 30 | 40 | 50 | 70 |
| CD uniformity [3σ, nm] | 55 | 65 | 75 | 110 |
| Stitching stability [3σ, nm] | 30 | 60 | 70 | 100 |
| 2nd layer alignment [nm] | 225 | 225 | 350 | 500 |
| Write speed [mm²/min] | 485 | 970 | 3150 | 6400 |
| Exposure time for 100 x 100 mm2 area [min] | 28 | 14 | 5.6 | 3.5 |
| System features | ||
|---|---|---|
| Light source | High-power DPSS laser with 355 nm | |
| Maximum substrate sizes | 9″ x 9″ / 17″ x 17″ | |
| Substrate thickness | 0 to 12 mm (other thicknesses on request) | |
| Maximum exposure area | 205 x 205 mm2 / 410 x 410 mm2 | |
| Autofocus | Realtime autofocus system (optical and pneumatic) | |
| Autofocus compensation range | Up to 80 µm | |
| Flowbox | (Closed-loop) temperature controlled environmental chamber | |
| Alignment | Camera system and software package for metrology and alignment | |
| Other features and options | 2D Stage map and data, Mura correction, edge detector, multiple data input formats (DXF, CIF, GDSII, Gerber, and others), optional automatic mask handling, optional Zerodur® stage and special chucks | |
| System dimensions | ||
| System / Electronic rack | ||
| Width [mm] | 2605 / 800 | |
| Depth [mm] | 1652 / 650 | |
| Height [mm] | 2102 / 1800 | |
| Weight [kg] | 3550 / 180 | |
| Installation requirements | ||
| Electrical | 400 VAC ± 5 %, 50/60 Hz, 16 A, 3 phases | |
| Compressed air | 6 - 10 bar |
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