您好,欢迎您查看分析测试百科网,请问有什么帮助您的?
如果企业客服不在线,也可拨打400电话联系。或者发布求购信息
特征概览:
非接触式超小设计,监测高功率射频电源的电流及电压传输
方便替换传统的光谱仪,准确探测刻蚀工艺的终点
监测腔体是否刻蚀干净及过度刻蚀,缩短刻蚀时间和降低气体成本,提高生产机台使用率
高速采样频率,可达2万赫兹
应用:
用于半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀腔体工艺等离子体放弧探测及刻蚀终点探测(Endpoint)。
SionTM 射频放弧探测器, Sion TM RF Detector
SionTM 射频放弧探测器信息由英福康有限公司为您提供,如您想了解更多关于SionTM 射频放弧探测器报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
群组论坛--近红外(NIR)
您可能要找:英福康/INFICON在线自动监测SionTM 射频放弧探测器价格 Sion TM RF Detector在线自动监测参数
Copyright ©2007 ANTPedia, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号