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特征概览:
新设计的离子源使污染最小化,从而延长其使用寿命和提供更清楚的讯号
新型电子倍增器在PVD工艺压强下提供更快速,清晰的数据收集和免除法拉第杯和电子倍增器的转换,使数据一致性。
新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力,提高质谱仪分辨同位素的灵敏度,及改善对氢的检测灵敏度
内置压力传感器(CDG),用于工艺压强监测和提供联锁保护,有效延长灯丝使用寿命
应用:
高压强真空系统(< 20毫乇)检漏,气体纯度,污染检测及制程工艺监控,涉及领域:传统高压强真空系统,半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD系统
Transpector XPR3 气体分析系统,Transpector XPR3
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