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SUPRA 40是一款高分辨率场发射扫描电子显微镜,拥有第三代GEMINI镜筒,可变压强性能加上多种纳米工具的使用,不用花费大量时间,使高分辨率成像和非导体样本的分析成为可能,超大的样品室适合各种类型探头及配件的选择。该场发射电镜适用于材料领域、失效分析、过程控制,纳米技术等。
ZEISS的场发射扫描电镜全部采用新一代专利镜筒(GEMINI)设计,具有优良的高、低加速电压性能。创新的InLens设计是目前世界上唯一真正的内置镜筒电子束光路上二次电子探测器,具有zei佳的灵敏度和zei高的接收效率,而且只接收来自样品表面的二次电子,因此具有业界zei高等级的分辨率和图像质量。二次电子探测器和背散射电子探测器均内置于镜筒电子束光路上,试样的工作距离不受背散射探测器的影响,可以非常接近极靴,这样可以同时获得zei高的二次电子像分辨率和背散射电子像分辨率,且接收的背散射电子的能量可以控制。ZEISS的场发射扫描电镜创造性的采用电磁、静电复合式物镜,杂散磁场小,可对铁磁体样品进行高分辨率成像。
【技术参数】
分辨率:1.0nm@ 15KV
1.9nm@ 1KV
2.0nm@ 30KV(VP mode)
放大倍数:12 - 1,000,000x
加速电压:0.02 - 30 KV
探针电流:4 pA - 20 nA (12pA - 100 nA可选)
样品室: 330 mm (φ) x 270 mm (h)
样品台: 5轴优中心全自动
X = 130mm
Y = 130 mm
Z = 50mm
T = -3 to 70°
R = 360°连续旋转
系统控制:基于Windows XP的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
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