| 二次电子图象分辨率 | 0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ） 分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) | 放大倍数 | Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels） |
| 样品台 | 全对中测角样品台、5轴马达驱动 | 加速电压 | 0.1 ～ 30 kV |
广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。
此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下：
◇ 半浸没式物镜
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。
◇ High Power Optics
High Power Optics 是独特的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。
浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，最佳光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。
浸没式肖特基场发射电子枪銃
浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。
最佳光阑角控制镜（ACL）
最佳光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。
即使探针电流很大，束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高
◇ 柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
GB 模式的效果
GB 模式在低电压下提高分辨率
左图一般模式，右图GB模式
增强了的低加速电压下的分辨率
◇ r-过滤器
◇ LABE检测器（选配件）
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像
◇ 扩展性
能谱仪（EDS）
波谱仪（WDS）
阴极荧光系统（CL）
JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜, JSM-7610FPlus
JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜信息由北京培科创新技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于 JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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