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原子层沉积系统(Picosun)

北京正通远恒科技有限公司

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该款原子层沉积系统:Picosun™ 300mm生产线上的产品是300mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD设备。该工具可以独立工作,也可以集成PICOPLATFORM™300真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。

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