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发布时间:2024年02月
Lab2000 Auto系列是一种多功能镀膜设备(热蒸发/热阻蒸发和电子束蒸发可选),设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求。可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件,提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室,也可以配置通用的前开门式不锈钢箱式腔室。腔室具有额外的高度与宽度,适用于安装较多的工艺附件。客户可选择的模块化工艺附件,包括热阻蒸发源及其控制电源、电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。
高真空电阻热蒸发&电子枪镀膜机&手套箱,Lab2000
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