Q300T D Plus适用于两种材料的多层顺序溅射,具有两个独立的溅射头,无需破坏真空即可连续溅射两种金属。该系统是全自动的,用户定义的配方可以控制泵、镀膜顺序、镀膜时间、溅射循环次数和工艺过程中使用的电流等。通过在两个靶之间循环,可以依次溅射来自两种靶材料的厚度不同的膜层。不使用时,镀膜腔室可保持在真空环境下,以防止污染。
Q300T D Plus –双靶顺序溅射镀膜仪,Q300T D Plus
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