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Attolight定量CL-SEM系统提供大视场快速扫描,并同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。晶圆直径较小,或衬底形状复杂时,可手动加载到300mm中间感受器上,然后仪器将自动进行处理。Säntis300全晶圆工业CL-SEM系统可全自动控制150、200和300毫米晶圆,其优点包括:1、晶圆尺寸可达300毫米;2、高效的CL-SEM扫描成像效率;3、电镜成像和光学信号采集同时进行;4、边缘检测和晶圆准确定位(精度优于10µm);5、自动映射和调整晶圆翘曲度。特点:Säntis300系统提供3种不同的采集模式,可根据不同的需求和应用进行定制:•面扫描模式(FWBrush模式)•线扫描模式(AWPix模式)•多点扫描模式工业市场应用:1、GaN及其应用:高强度LED对高发射效率和高可靠性要求较高,如汽车应用中LED故障会危及人身安全;UVCLED要求高发射效率和均匀性,LED故障可危及生命,例如在灭菌和消毒应用中。2、光子学:激光光子学;3、电力电子应用GaN:电力电子应用需要更大功率、更小和更轻的包装,如物联网或汽车应用。4、II-VI族材料:GaAs及其应用如太阳能、电力电子;SiC电力电子;µLED。其他应用举例:微观结构发光二极管(MicroLed)、LED质量控制、GaN中的螺纹位错缺陷计数、碳化硅衬底质量控制。
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