全晶圆工业阴极荧光CL-SEM系统Säntis 300Attolight

Attolight定量CL-SEM系统能够快速扫描大视场，并同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。晶圆直径较小或衬底形状复杂时，可手动加载到300mm的中心感应器上，然后由仪器自动处理。
Säntis300全晶圆工业CL-SEM系统可完全自动化控制150、200和300毫米的晶圆。优点包括：1、可控制直径达300毫米的晶圆；2、CL-SEM扫描成像效率高；3、可同时进行电镜成像和光学信号采集；4、边缘检测和晶圆准确定位（优于10µm）；5、可自动映射和调整晶圆翘曲度。
Säntis300系统提供3种不同的采集模式，可根据需求和应用进行定制：
• 面扫描模式（FWBrush模式）
• 线扫描模式（AWPix模式）
• 多点扫描模式
工业市场应用包括：
1、GaN及其应用：LED要求高发射效率和可靠性，特别在汽车和UVCLED应用中；LED故障对人身安全有影响；
2、光子学：激光光子学；
3、电力电子应用GaN：物联网或汽车应用需要更大功率和更轻包装；
4、II-VI族材料：GaAs、SiC；
其他应用如微观结构LED(MicroLed)和LED质量控制。同时也可用于螺纹位错缺陷计数和碳化硅衬底质量控制。

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