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Attolight定量CL-SEM系统能够快速扫描大视场,并同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。晶圆直径较小或衬底形状复杂时,可手动加载到300mm的中心感应器上,然后由仪器自动处理。Säntis300全晶圆工业CL-SEM系统可完全自动化控制150、200和300毫米的晶圆。优点包括:1、可控制直径达300毫米的晶圆;2、CL-SEM扫描成像效率高;3、可同时进行电镜成像和光学信号采集;4、边缘检测和晶圆准确定位(优于10µm);5、可自动映射和调整晶圆翘曲度。Säntis300系统提供3种不同的采集模式,可根据需求和应用进行定制:• 面扫描模式(FWBrush模式)• 线扫描模式(AWPix模式)• 多点扫描模式工业市场应用包括:1、GaN及其应用:LED要求高发射效率和可靠性,特别在汽车和UVCLED应用中;LED故障对人身安全有影响;2、光子学:激光光子学;3、电力电子应用GaN:物联网或汽车应用需要更大功率和更轻包装;4、II-VI族材料:GaAs、SiC;其他应用如微观结构LED(MicroLed)和LED质量控制。同时也可用于螺纹位错缺陷计数和碳化硅衬底质量控制。
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