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一、简介 德国Edgewave公司是INNO-SLAB板条激光激光器技术的先驱和领导者。版条状增益介质既具备块状介质可以容纳大模场光斑、承受高能量高峰值功率脉冲的特征,由具备媲美光纤/碟片增益介质的热效应小的性能,故适合大能量、高功率脉冲激光器。Edgewave可提供DPSS的纳秒调Q激光器、锁模飞秒/皮秒激光器,功率可达千瓦量级,单脉冲能量可超过百毫焦。板条激光器的另一个独特优点是光斑分布可订制,例如高斯圆光斑、平顶方形光斑、条形光斑等。
二、特点
• 短脉宽和高峰值功率:产生的极其微小的热区域, 更适于高精度加工
• 近似理论值极限的高光束质量:更适合微加工
• 高功率和功率可提升:更高的生产效率
• 结构紧凑和性能稳定可靠:低运行成本
• 高效率:低能耗,利于环保
• 输出光斑分布的高灵活性:绿色加工和最大的能源效率
三、应用
• 光伏行业,例如硅晶园的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
• 显示领域,如导电层的织构化和玻璃切割
• 玻璃工业,如微钻孔和高速亚表面内雕
• 电子工业,例如对印刷电路板的切割和钻孔
• 工具制造和机械工程,如三维烧蚀快速成形
• 汽车制造行业,如: 燃油喷嘴阀的制造
• 科研领域,如作为染料激光器、OPO以及Ti:宝石激光器的泵浦,粒子成像测速
四、型号及参数
1、 BX系列
型号
BXxx-1
BXxx-2
BXxx-3
BXxx-4
波长
IR
Green
UV
DUV
M2
1.1
1.6
2
最大平均功率
80W
40W
12W
6W
最大重复频率
100KHz
10KHz
最大脉冲能量
7mJ
3mJ
1.5mJ
1mJ
脉宽
1ns
能量稳定性
1%
2%
3%
指向稳定性
<50μrad
2、 IS系列
ISxxx-1
ISxxx-2
ISxxx-3
ISxxx-4
400W
200W
70W
20W
150KHz
15KHz
60mJ
30mJ
15mJ
4mJ
4%
<60μrad
3、 GX系列
GXxxx-1
GXxxx-2
GXxxx-3
GXxxx-4
1.5
800W
30W
20KHz
120mJ
5mJ
五、应用示例
• 薄膜太阳能电池的结构化
• 太阳能电池清边
• 体硅太阳能硅片的结构化
• 玻璃钻孔
• 玻璃切割
Edgewave短脉冲高功率纳秒激光器,短脉冲系列
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