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一、主要特性:
光束质量: M²<1.5
脉冲能量达200μJ
脉宽可小于10ps
峰值功率达20MW
重复频率可达15MHz
平均功率达100W
波长1064、532、355、266nm
二、产品应用:
光伏产业,如:硅晶圆的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和绝缘层的烧蚀
印刷工业,如:印刷轮雕版
显示领域,如:构造导电层,横向连续硅结晶
电子行业,如:印刷电路板的钻孔和切割
工具制造和机械工程,如:三维快速成型
三、参数规格:
波长[nm]
1064
532
355
266
高光束质量 M2
1.1
1.5
2
平均功率[W]
100
60
30
10
重复频率[MHz]
15
单脉冲能量[μJ]
200
120
70
脉宽[ps]
8
能量稳定性[%]rms
1
3
4
定时稳定性[ns]
偏振比
>100:1
出口光斑直径[mm]
满量程发散角[μrad]
500
250
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