白光干涉VS共聚焦，工作原理+技术指标+应用场景对比选型干货梳理

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白光干涉 (WLI) 是“光的干涉定位”，精度是不讲道理的强，纵向0.1nm的分辨率且不随物镜倍率衰减。而共聚焦是“针孔滤光”，专门对付那些大陡壁和黑乎乎的样品，最大可测倾角能顶到71.8∘。

选型原则

1.白光干涉仪：偏向平、滑、透的极限精度，纵向分辨率高达0.1 nm。

0.1nm的纵向分辨率是什么概念呢？就是哪怕物镜倍率低，它的绝对测量能力也摆在那，这在测大面积超光滑表面时简直是作弊神器。

2.共聚焦显微镜：擅长陡、糙、暗的复杂还原，最大可测倾角达71.8∘，对于低反射率、大角度斜坡（如太阳能电池金字塔结构）更具优势。