自动椭圆偏振测厚仪

产品特点：
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

规格与主要技术指标：
测量范围：1nm-4000nm 折射率范围：1-10
测量zei小值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05°
度盘刻度：每格1度 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180° 外形尺寸：680*390*310mm
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：0.5nm和0.005
主机重量：26kg
仪器测量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm时）
光学中心高度：80mm 成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件
成套性：主机、电控系统、USB接口、配套软件（需配计算机）

产品特点：
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。
仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途