椭圆偏振测厚仪

在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数，如：布儒斯特角法测介质膜的折射率，干涉法测膜厚，其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点，因而，椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛应用。

规格与主要技术指标：
测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm； 折射率范围：1-10
测量zei小示值：≤1nm 入射光波长：632.8nm
光学中心高：80mm 允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±1nm和±0.01
主机重量：25kg 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点；
光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高；
仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途