EQS二次离子质谱探针

描述：EQS 是差式泵式二次离子质谱（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针，便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

主要特点：
· 高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
· SIMS 成像，分辨率在微米以下
· 光栅控制，增强深度分析能力
· 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
· 所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输
· 差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至2500amu
· 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
· Penning规和互锁装置可提供过压保护
· 通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

技术参数：

·质量数范围：   300amu，500amu，1000amu

·检测器：         离子计数探测器、正负离子探测器、10⁷ cps

·质量过滤器：   3F四级杆

·杆直径：         9mm

·最高加热：      250℃

·离子源：         电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝

应用：
   · 静态 /动态SIMS
   · 一般目的的表面分析
   · 整体的前端离子源，便于RGA和 SNMS
   · 兼容的离子枪/ FAB 枪
   · 成分/污染物分析
   · 深度分析
   · 泄漏检测
   · 与Hiden SIMS 工作站兼容

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途