仪器简介:Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。
技术参数:应用:
・ 蚀刻 / 沉积作用研究
・ 离子植入 / 激光烧蚀
・ 残余气体分析 / 泄漏检测
・ 等离子体电感耦合,即在操作中遵从电极设定条件
・ 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析
主要特点:・ 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动zei小
・ 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
・ 所有能量范围内,离子行程的zei小扰动,及恒定离子传输
・ 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
・ 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围
・ 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析
・ Penning规和互锁装置可提供过压保护
・ 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布随时间的变化
・ 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
・ Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
・ 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft
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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途