HPR-80腐蚀性气体分析仪

描述：初期主要应用于半导体行业的特气检测，如毒性气体AsH₃、B₂H₆、PH₃等，强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF₃等，强氧化性气体如CIF₃、NF₃等。 HPR-80腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体，HF，HCl，HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。

仪器简介：
HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

应用：
    · 等离子体/反应性离子蚀刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 半导体晶片加工研究
    · 真空、等离子体过程
    · 活性物质定量分析
    · HF，HCl，HBr，CFC 研究


主要特点：
· 加热的电抛光波纹管，快速偶合连接器
· 可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
· 高灵敏度至 5 ppb, 质量数可至2500 amu.
· 进样压力从 1 mtorr 至大气压
· 电容压力计，压力检测可不受分析物影响
· 稳定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
· 软件 MASsoft 控制
· 矩阵反演，归一化及单峰参考

腐蚀性气体分析质谱仪 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体，如反应中间产物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等强腐蚀性与半导体工艺气体。

20年前，Hiden在国际知名期刊《Physics Today》今日物理学杂志发布了HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪，初期主要应用于半导体行业的特气检测，如毒性气体AsH3、B2H6、PH3等，强腐蚀性气体如如HCI、HF、CIF3等，强氧化性气体如CIF3、NF3等。

20年来，Hiden在这一细分领域具有强大的产品力，针对不同程度的腐蚀气体分析，提供不同的解决方案。

HPR-80 腐蚀性气体分析质谱仪非常适用于分析腐蚀性气体，HF，HCl，HBr和卤代烃气体工艺产生的反应产物。

主要特点：

• 连接件电抛光工艺处理

• 取样压力： 1mTorr to 1000Torr

• 高灵敏度三级过滤四极杆

• 检测限可达 5 ppb

• QGA专业版定量分析软件

HPR-80腐蚀性气体分析仪信息由北京英格海德分析技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于HPR-80腐蚀性气体分析仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途