Hiden SIMS Workstation二次离子质谱仪

描述：

Hiden SIMS二次离子质谱工作站提供高性能静态和动态 SIMS 分析，用于的表面成份分析和深度剖析。

SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，综合UHV / SIMS 设备，进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用的SIMS分析工作站。

·整合的离子源，便于RGA和SNMS

·各类型样品的快速转向

·阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪

·整合的离子枪光栅控制和信号选通，进行深度分析

·绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中和

·液氮冷井和真空室烘烤加热器

·自动的SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表，使SIMS性能最佳

·Hiden EQS SIMS 分析仪，运行于 MASsoft O/S 之下，检测限至ppb级

·基本的激发源选择： 带差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液态镓枪

·快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器

·4 轴：X, Y, Z, θ UHV 操纵器，以最佳定位样品

·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，进行SIMS元素成像

·静态SIMS谱图库可用

仪器简介：
1. 适合做多层薄膜的深度分析。
2. 很好的、耐用的、普通目的的二次离子质谱仪。
3. 方便使用。
4. 样品可以手动转换，由于分析速度快所以每天可以分析一定数量的样品。
5. 我们的系统可配置快速原子枪，使我们可以轻松处理绝缘的样品。
6. 我们还可以做元素成像（就象化学地图）和混合模式扫描，自动测量正、负和中性粒子。
7. 我们的系统是典型的超高真空工作台，很容易满足很多其它分析的使用。

结构紧凑，但不损失性能。真正的高性价比。

技术参数：
质量数范围：300，510或1000amu
分辨率：5%的谷，两个相连的等高峰。
检测器：离子计数检测器，正、负离子检测
检测限：1:10E7
质量过滤器：三级过滤四极杆（9mm杆）
主离子枪： A，氧离子或其它气体，能量到5KeV
          B，Ga离子枪，能量25KeV（选配）
空间分辨率：A：100～150um
           B: 50nm
取样深度：2个单分子层（静态）
         不受限制（动态）


主要特点：

.高灵敏度脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围

.SIMS 成像，分辨率在微米以下

.光栅控制，增强深度分析能力

.所有能量范围内，离子行程的最小扰动，及恒定离子传输

.差式泵3级过滤四极杆，质量数范围至1000amu

.灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器

.Penning规和互锁装置可提供过压保护

.通过RS232、RS485或Ethernet LAN，软件 MASsoft控制

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途