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激光脉冲沉积(PLD)
激光分子束外延系统

激光分子束外延系统 Pioneer 180 MAPLE PLD

基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是PLD的一种变体。这是由NRL集团引入的,以促进某些功能有机材料的薄膜沉积。基于UV (5-6 eV)的传统PLD技术可能不......
离子辅助脉冲激光沉积系统

离子辅助脉冲激光沉积系统 Ion-Assisted PLD System

特点独立的交钥匙离子束辅助PLD系统。在非晶和多晶衬底上沉积双轴织构模板。外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。用RHEED诊断法沉积织构MgO薄膜。氧化膜沉积......
大尺寸脉冲激光沉积系统

大尺寸脉冲激光沉积系统 Large-Area PLD Systems

特点•全自动大尺寸PLD系统•晶圆尺寸:4 "(100毫米),6 "(150毫米)和8 "(200毫米)直径•外延薄膜、多层异质结......
组合型脉冲激光沉积系统Combinatorial

组合型脉冲激光沉积系统Combinatorial Pulsed Laser Deposition System

Special FeaturesStand-alone turn-key combinatorial PLD SystemContinuous Composit......
激光分子束外延分析系统

激光分子束外延分析系统 180 Laser MBE/PLD

特点独立的MAPLE PLD系统有机和聚合物薄膜的沉积在同一室的附加沉积源(可选): 脉冲电子沉积(PED),射频/直流溅射和直流离子源Load-lockabl......
脉冲激光沉积系统Pioneer

脉冲激光沉积系统Pioneer 180 PLD System

特点•外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。•使用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。•氧化膜沉积的氧相容性。•升级:离子辅助PLD,组合型PLD,目标衬底负......
脉冲激光沉积系统Pioneer

脉冲激光沉积系统Pioneer 120 PLD System

  特色独立的交钥匙PLD系统。外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。纳米级薄膜的沉积。外延氧化膜沉积的可编程氧兼容加热器。自动多目标旋转多......
高级脉冲激光沉积系统

高级脉冲激光沉积系统 Pioneer 120 Advanced PLD System

Pioneer 120 Advanced PLD System特点独立的交钥匙PLD系统。 外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。利用原位RHEED诊......
组合型脉冲激光沉积系统

组合型脉冲激光沉积系统 Combinatorial PLD System

特点独立交钥匙PLD系统PLD-CCS 三元连续组分扩散无退火和掩模在“真正的”沉积条件下(比如800℃,500mTorr)薄膜成长Wafer尺寸:标准型直径2......
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