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原子层沉积系统 P-1000 Pro

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参考报价: 面议 型号: P-1000 Pro
品牌: Picosun 产地: 芬兰
关注度: 暂无 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地属性欧洲价格范围100万-150万

PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率,并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性,甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。

衬底尺寸和类型156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背)
高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背)
大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等)
多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
工艺温度50 - 500 °C
基片传送选件气动升降(手动装载,带叉车forklift cart)
全自动转载,用工业机器人实现
前驱体液态、固态、气态、臭氧源
前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
8根独立源管线,最多加载12个前驱体源
重量2000 kg
尺寸(W x H x D)
230 cm x 270 cm x 125 cm
选件PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。
验收标准标准设备验收标准为 Al2O3 工艺

Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。

ALD工业领域及应用

产品ALD应用

医疗植入(牙科,连接技术)

手术固定器

植物活性层, 用来提高骨融

合,生物兼容的包覆层

植入医疗器件

(心脏起搏器,耳蜗植入)

生物兼容包覆层
收藏性硬币防着色涂层
钟表部件防着色层或装饰层
珠宝防着色层或装饰层
PCB防锡晶须及腐蚀


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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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