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原子层沉积系统 P-200 Pro

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参考报价: 面议 型号: P-200 Pro
品牌: Picosun 产地: 芬兰
关注度: 1 信息完整度:
样本: 暂无样本 典型用户: 暂无
产地属性欧洲价格范围100万-150万

PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本,系统的易维护性减少了停工期。对于系统的维护、工艺故障的排除,我们为客户提供专业的售后服务Picosupport™。根据用户的需求,确保每时每(24/7/365)快速提供全面的解决方案。在购买之前,我们提供做样服务,确保系统具有最好的性能,完全满足您的需求。

衬底尺寸和类型50 – 200 mm /单片
156 mm x 156 mm 太阳能硅片
150 mm x 150 mm 显示面板
工艺温度50 - 500 °C , 可选更高温度
基片传送选件气动升降(手动装载)
半自动装载,用PICOPLATFORM™200集群系统实现
25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™200集群系统实现
标准SEMI S2 认证(认证中)
前驱体液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体(最多4路气体):
前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
6根独立源管线,最多加载12个前驱体源(加上Plasma管路,共7根独立源管线)
重量790 kg
尺寸 (W x H x D)
160 cm x 80 cm x 240 cm
可选件集群工具, PICOFLOW™ 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM, RGA, N2发生器,尾气处理器,定制设计,与 工厂软件连接服务。
验收标准标准设备验收标准为 Al2O3 工艺,
其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如:
--不均匀性
--颗粒物含量
--重金属污染
--电学性能

PICOSUN™ 200mm 生产线上的产品是200mm以下晶圆的自动化、高产量的工业ALD加工设备。包括PICOSUN™ P系列Pro ALD设备。该工具可以独立工作,也可以集成到PICOPLATFORM™200真空集群系统以达到更高的产量和自动化水平。为了节约昂贵的设施空间,所有PICOSUN™的ALD系统有着紧凑,高效的设计。集成的专业机柜,装载着前驱体和电子元件,保证了快速简便的维护和最短的停机时间。PICOSUN™ P系列Pro工具保证了最大产能以及最节约成本的情况下得到优秀的ALD工艺质量,并履行严格的现代半导体产业的生产力和安全要求。

原子层沉积系统 P-200 Pro信息由北京正通远恒科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于原子层沉积系统 P-200 Pro报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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