全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选技术参数：1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台，经过定位传感器及自动旋转系统的调节......
全自动接触式光刻机（紫外光刻机）4-12寸可选技术参数：1．工作方式：装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台，经过定位传感器及自动旋转系统的调节......
产品描述FeaturesWafer/substrate size from pieces up to 200 mm/8’’Top-side and bottom......
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