用于扫描电镜腔室清洁，可以分解腔室和样品表面凝聚的碳氢化合物，保持电镜腔室清洁，提高成像能力。

技术参数

• 真空接口：KF25法兰，也可定制

• 启辉电压：5x10^-2Pa

• 功率：0~100W，连续可调

• 电源：220v，13.56MHz

• 射频自动匹配，气体流量自动控制

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途