室温自动探针台 TZ-H-06

室温自动探针台，高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子， 电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、Y、Z、 R等方向自动调整，各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。




产品特征

1、标配4个探针臂，可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；

2、显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物镜时）， 视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

3、样品座采用电机驱动，可实现快速于目镜下寻找样品，调节范围：100mm*100mm*15mm*±180°。

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途