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广州市固润光电科技有限公司
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| 参考报价： | 面议 | 型号： | semiconsoft MProbe |
| 品牌： | Semiprobe | 产地： | 美国 |
| 关注度： | 14 | 信息完整度： |  |
| 样本： | 典型用户： | 暂无 |
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Semiconsoft MProbe 膜厚测试仪
MProbe 让 你 成 为 测 量 专 家 ！
大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (聚对二甲苯,PMMA,聚酰胺), 薄金属薄膜等。
厚度和其他参数的均匀性测量对于许多应用程序是很重要的。
映射选项包括:
1.XY电动平台(150，200和300毫米游程)
2.固体19 x19"铝合金平台
3.探头架(反射/透射测量均可)与光学系统
4.调节器
5.支持软件(映射配方,等等)。
定位精度 | < 2 μm |
分辨率 | < 0.5 μm |
驱动 | 步进电机 |
调节器 | 一体化平台 |
通讯 | 串口(RS232) |
尺寸 | 19” x 19” x 10” ( 6” 和 8”阶段) |
重量 | 12 kg |
硬件选项 | |
-150XYM | 6”x6” (150x150mm) XY电动平台 |
-200XYM | 8 x8”(200x200mm) XY电动平台 |
-300XYM | 12x12”(300x300mm) XY电动平台 |
-VAC | 真空夹盘(样品架通过一个电机泵插入微孔) |
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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途
