Sievers分析仪(威立雅)
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为电子行业而生,M500e在线TOC分析仪,你值得拥有!

发布时间: 2021-03-23 18:00:00 来源:苏伊士Sievers分析仪

Sievers® M500e总有机碳TOC分析仪实现关键有机污染物在线检测,优化产量,并确保超纯水质。


Sievers产品迈上新台阶

M500e分析仪在原 Sievers 500 RLe TOC分析仪的稳定性基础上,进一步完善了界面,提高了超低浓度检测的准确性,并能在几分钟内得出检测结果。M500e是Sievers第三代在线分析仪,使在微电子领域中领先长达数十年的Sievers产品迈上了一个新的台阶。M500e采用Sievers膜电导技术,无需试剂,可实现低于1 ppb TOC的准确性、精确性和稳定性


主要特点

可选项

  • 电导率/电阻率

  • 用WiFi和以太网进行远程数据访问


10英寸触摸屏

  • 界面直观

  • 设置一目了然

  • 耐化学腐蚀


设计

  • IP55和全IP接口

  • 占地面积与500 RLe相同,升级简便


取样系统

  • 集成在线取样系统(iOS,Integrated Online Sampling System)能够添加标准品

  • 基本型号带不锈钢取样器


卓越的性能和特性,适用于微电子行业

加快冲洗

双倍速度

为使正常运行时间和低浓度数据收集能力最大化,M500e采用更快速的冲洗时间,可实现:

  • 冲洗周期比上一代产品快50%以上(低至3分钟)

  • 最多数据生成,即使在维护或消耗品更换后也是如此


低浓度校准和验证协议

确保质量和控制

新低浓度校准(250 ppb 邻苯二甲酸氢钾KHP)和确认(100 ppb异丙醇IPA)

  • 使用经认证的标准品,在接近操作范围进行校准,并使用难以氧化的化合物进行确认。


自适应自动归零

根据变化自动调节

根据TOC偏移量的变化,M500e自动确定TOC自动归零频率。这允许:

  • 校正结果间差异

  • 无需手动变更自动归零频率

  • 小于1 ppb TOC的精确性和稳定性

  • 仪器间匹配


Sievers膜电导TOC检测技术


专利的透气膜仅选择性地

透过有机物氧化产生的CO2


无与伦比的可靠性、稳健性和准确性

更高的选择性、灵敏度、稳定性和精确度

区分有机和无机碳,为过程控制提供关键信息


增强响应性和快速分析

  • 3分钟分析时间

  • 加速冲洗

  • 自适应自动归零

  • 低浓度校准和确认

卓越的分析性能

  • TOC分析范围:0.03 ppb – 2.5 ppm

  • 电导率范围:0.01 - 800 μS/cm(也显示为电阻率)

  • 仪器和所有接口均为IP55

无缝界面和数据管理

  • 设置和操作更快、更简单

  • 应答式且信息丰富的触摸屏显示与用户界面

  • 现代化的全面的数据管理和数据传输组合


应用领域

微电子


始终如一的超纯水(UPW)生产对于微电子制造业至关重要。通过使用Sievers M500e实施TOC监控,工厂能够:

  • 确保水质符合推荐的TOC限值

  • 确保有机物的完全回收,尤其是在不利于氧化的环境中。

  • 提供关于源水、树脂系统和生产过程中所存在化合物的可靠回收数据,从而能够采取前瞻性措施,保护产品质量,并帮助进行系统故障排除。

  • 未检出的有机物可能影响光刻,我们帮助制造运营部门,战胜这种风险。


其他超纯水应用


为实现最优运行,蒸汽发生水系统需要超纯水质。使用M500e,工厂能够:

  • 使用一个参数:TOC,即可分析低浓度污染物(例如糖、清洁剂、冷却液或有机酸)。

  • 确保给水质量,以减轻损失和工厂停产时间。

  • 检测换热器中的污染物,并保护抛光系统和设备。

  • 辨识是否存在会造成腐蚀性环境的化合物,从而避免工厂停产和设备损坏。

  • 根据各电力行业协会的建议,保证TOC已限制为<100-200 ppb。


文末彩蛋看这里

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点赞结果统计日期截止为北京时间2021年3月31日中午12:00。快来参与吧!


(苏伊士保留活动解释权)


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