Sievers* 500 RLe 在线TOC 分析仪

　　概况

       Sievers*500RLe在线TOC分析仪是半导体工业唯一的在线、无试剂的TOC分析仪，能够准确测定引起问题的化合物，例如尿素、三甲基胺（TMA）、有机酸与有机碱。

　　在线总有机碳（TOC，Total Organic Carbon）分析仪应尽可能简单，但是不能简单到，将制造操作暴露在不可预期的风险中，并且存在检测不到的有机中间产物。最近，某家领导性的全球半导体液浸式光刻工具生产商已经要求，其光刻工具给水的所有TOC检测要包含准确的超纯水（UPW）中的有机氮化合物的检测1。一些品牌的TOC分析仪不能检测到超纯水中普遍存在的有机氮化合物，比如尿素，或三甲基胺TMA1,2。500RLe能够准确、重复性很好地测定这些化合物，满足此项新的TOC性能要求。

　　500RLe采用Sievers分析仪（Sievers Instruments）所有的膜电导率检测技术，通过去除其他简化的TOC技术会造成的“假正”与“假负”读数，实现超低含量测定的准确性与可靠性（见图1与图2）。

　　无试剂型的在线半导体超纯水TOC分析仪中，500RLe自动显示出最高级别仪器对仪器之间的匹配，与最低的检测限（LOD，Limit of Detection）。五台500RLe分析仪安装于同一大型半导体公司0.3ppb（以碳计）的超纯水中，并收集数据两个月。大量的数据组显示所有的仪器对仪器的TOC读数的91%，偏差在±0.05ppbC（以碳计）以内。另外，在相同的五台分析仪上进行了44,000次检测限（LOD）分析，98%的时间里，TOC的检测限低于0.02ppb（以碳计）（见图3与图4）。很明显，这种表现是自动获取的，不需要做手动的重新校准操作，或将分析仪寄到厂区以外进行专门的校准，而其他品牌的TOC传感器经常要求这样做。

　　设计的进步使500RLe比起PPT（Sievers的旧型号TOC仪）可以用于更高电导率的水，并且能给出同样的分析性能。结果是，500RLe提供更广泛的灵活性与可靠性。尤其关注于低溶解氧（DO，Dissolved Oxygen）水系统的表现，解决对其他无试剂型TOC分析仪而言，有困难的TOC回收率问题。