瑞士SAWATEC SM-150 匀胶旋涂仪说明书

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一、SM-150匀胶机产品概述：

SM-150旋涂机是一款手动或半自动薄膜涂覆的高性能匀胶机，它的优点在于具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸最大为 150mm (6") 127x127mm (5"x5")的基板上。旋涂工艺腔设计的直径为176mm，为了使花费在旋涂工艺腔清洁上的精力最小化，SAWATEC公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本最小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。

二、SM-150匀胶机基本功能和技术参数：

（1）适用基材类型：晶圆片、硅片、玻璃片等表面结构、厚度不大的基材；（防止基板太厚不能合上盖子）

（2）适用基材尺寸：小碎片至150mm (6英寸) 直径圆片或者127x127mm (5英寸x5英寸)方片；

（3）可编程设置多达50条程序(每条程序包含24个程序段)；

（4）旋转速度：0 到 10,000rpm （+/-1rpm）

（5）旋转加速度：0–8,000rpm 为0.8秒；0–10,000rpm为1秒 。（空载时）

（6）旋转减速度：10,000rpm-0 为2.5秒；8,000rpm-0 为0.8秒 。（空载时）

（7）工艺时间：每个程序段的给胶时间为 0~99秒，总的工艺时间可为0~2376秒；

（8）3.5英寸彩色显示屏的触摸屏面板控制，方便用户程序配置；

（9）旋转方向 ：顺时针、逆时针；

（10）手动装卸基材，通过真空和安全互锁保护来固定基材；

（11）手动盖子带有空气入口和闭合安全保护；

（12）工艺结束时有声音信号；

三、选配项：

（1）半自动式50毫升管式滴胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能；

（2）旋涂工艺腔的氮气吹扫；

（3）用于简化操作的“启动/停止"脚踏开关(电缆长度 1.8m)；

（4）经阳极氧化铝电镀处理制成旋涂工艺腔；

（5）铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗（内衬）；

（6）晶圆对准工具 2~6英寸(适用圆形基材)；

（7）匀胶机吸盘（chuck）：为了达成良好的涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的。根据用途的不同，可使用单块一体式结构匀胶机吸盘或具有光学辅助置中功能的两部分构成的匀胶机转接托盘。匀胶机吸盘的安装、更换过程非常简单，不需要使用工具。

四、设计和尺寸：

（1）桌上式版本 ：SM -150-BT

（2）内嵌式版本： SM-150-BM

（3）紧凑且节省空间的结构形式；

（4）POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性；

（5）POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出；

（6）透明盖板：玻璃制成；

（7）具有高精度旋转电机：

（8）经电解抛光处理的不锈钢外壳；

（9）外壳(桌面版): 350 x 510 x 403mm (长*宽*高）

（10）重量(桌面版): 约 29kg

（11）控制器模块(内嵌版): 300 x 300 x 368mm (长*宽*高）

（12）控制器面板(内嵌版): 320 x 166 x 50mm（长*宽*高）

（13）重量(内嵌版): 约 20kg

五、接口：

（1）电源：230 VAC  50/60Hz  10A

（2）脚踏开关用插头接口；

（3）真空接口：

（4）CDA接口：

（5）排放接口 Ø12mm

（6）桌面版废气接口 Ø38mm ；内嵌版废气接口 Ø25mm；