设备规格1.全自动操作模式;2.Robot取放片;......
我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员,可依据客户需求,完成定制化设备的研发生产。工艺应用:快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快......
设备规格: 1.手动操作模式; 2. 适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品; 3.退火......
二手设备的翻新和销售:光刻机、刻蚀设备、快速退火炉等。......
设备规格: 1.全自动操作模式,Robot自动上片取片、RFID识别; 2.双腔体生产模式,单个腔体适应于 2英寸-12英寸 晶圆,支持(3......