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采用 8800 ICP-MS/MS 测定超纯半导体级硫酸中的难分析元素
发布时间：
2018-11-28 11:21
来源：
安捷伦科技（中国）有限公司
| 样品： | 超纯半导体级硫酸 | 项目： | 难分析元素 |
| 方案文件名 | 下载 |
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采用 8800 ICP-MS/MS 测定超纯半导体级硫酸中的难分析元素 |
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近年来碰撞/反应池技术 (CRC) 广泛应用于四极杆 ICP-MS (ICP-QMS)，以消除 会对复杂基质中的分析物造成质谱干扰的多原子离子。利用 CRC，可以使半导 体级化学品中几乎所有待测元素的背景等效浓度 (BEC) 降低至 ppt 或亚 ppt 水平。 但是，某些样品基质中的一些多原子物质非常稳定，或者原始浓度较高，可能无 法通过池技术完全消除，因而仍会导致残留质谱干扰问题。在本应用简报中，我们采用 ICP-MS/MS 成功测定了硫酸中以前难以测定的痕量级 Ti 以及其它元素。
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