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利用 Agilent 7700s/7900 ICP-MS 对三氯硅烷进行痕量元素分析
发布时间：
2021-02-26 11:05
来源：
安捷伦科技（中国）有限公司
| 领域： | 汽车/铁路/船舶/交通,高分子材料 | ||
| 样品： | 三氯硅烷 (TCS) | 项目： | 金属杂质 |
| 方案文件名 | 下载 |
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利用 Agilent 7700s/7900 ICP-MS 对三氯硅烷进行痕量元素分析 |
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三氯硅烷 (TCS) 是用于生产光伏材料 (PV) 硅的中间产物，为生产出太阳能电池制造所需的高纯度 PV 硅，TCS 中的金属杂质必须受到严格控制。我们开发了一种成功的分析方法，先经过安捷伦开发的样品前处理方法，然后采用 Agilent 7700s/7900 ICP-MS 测定 TCS 中的杂质。加标回收率测试证明该方法对包括硼和磷在内的 33 种元素的有效性，同时还分析了两种 TCS 样品。TCS 的分析能力可让 PV 硅制造商在制造 PV 硅之前检查 TCS 中间化学品中的金属杂质。
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