模块化检漏仪应用于电子元器件检漏系统

模块化检漏仪应用于电子元器件检漏系统
上海伯东某生产氦气检漏系统公司, 其研发的小型氦检漏系统内部集成伯东 Pfeiffer 检漏模块 ASI 35 用于电子元器件检漏. 真空模式下, 漏率 5x10-7 mbar l/s.

电子元器件检漏系统功能
定制腔体内放入经过压氦的电子元器件, 真空模式下, 测试元件的整体漏率值.

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