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解决方案|三甲基硼气相色谱分析
发布时间：
2021-06-18 13:39
来源：
北京东西分析仪器有限公司
| 领域： | 电子/电器/半导体 | ||
| 样品： | 三甲基硼 | 项目： | 杂质气体 |
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解决方案|三甲基硼气相色谱分析 |
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三甲基硼（TMB）为无色气体，它的熔点-161.5℃，沸点-20.2℃，在空气中能自燃，发出蓝色火焰。其主要用于有机合成，应用于太阳能、半导体等行业中。在太阳能及半导体工艺中高纯硼是重要的掺杂剂，它的纯度很大程度上决定半导体器件及太阳能电池的质量。
三甲基硼烷气体分析一直是电子气的“老大难”。小编查阅相关文献，一般高纯三甲基硼烷中杂质大概为氧气、氢气、氮气、甲烷、二氧化碳、二甲基乙基硼烷等。本文利用GC-4000A系列气相色谱，对用户提供的甲基硼气样品中二氧化碳、一氧化碳、甲烷等进行了分析，受到客户满意的评价。
