氦质谱检漏仪

便携式

台式

移动式

移动式

模块式

手持吸枪式

订货号

G8600A

G8600B

G8602A

G8602B

G8601A

G8601B

G8603A

型号

VS PR02

VS PD03

VS BR15

VS BD30

VS MR15

VS MD30

959

VS C15

PHD-4

前级泵

DS 42
油封旋片泵

干式泵
组合

DS 302
油封旋片泵

TriScroll 620
旋涡式干泵

DS 302 油封旋片泵

TriScroll 620
涡旋式干泵

涡旋式干泵或油封旋片泵

分子泵

—

名义抽速m3/hr (l/min)

2 (34)

3 (50)

14 (232)

30 (500)

14 (232)

30 (500)

根据需要选配

根据需要选配

—

最小可检漏

5 x 10^-12 atm cc/sec: 5 x 10^-12 mbar l/s: 5 x 10^-13 Pa m3/sec

2 x 10^-9 atm cc/sec

5 x 10^-10 atm cc/sec

5 x 10^-6 atm cc/sec
5 x 10^-6 mbar l/s
5 x 10^-7 Pa m3/sec

最大测试口压力

13 mbar: 10 Torr: 1330 Pa

1 Torr

5 Torr, 7 mbar, 667 Pa

—

校准

自动或手动（内部或外部）

手动

自动或手动（内部或外部）

—

氦本底清零

一键式自动清零（自动本底追踪）

手动

一键式自动清零（自动本底追踪）

自动或手动

通讯接口

RS232 和analog （标配）、I/O 接口（选配）

Analog

RS232, analog, I/O 接口,和Profinet

Analog 和RS-232串口（标配）

设定点

5 个设定点（N/O 或N/C）（3 个漏率，1 个压力，1 个音频）

—

与VS 系列相同

远程显示/控制

可选件

—

可选件

标准

CE, UL/CSA

—

UL/CSA, CE Approved

CE, CSA/US