赛默飞推出基于机器学习的Metrios AX S/TEM扫描透射显微镜

赛默飞世尔科技推出 Metrios AX - 机器学习 S/TEM

生成可重复的高质量半导体分析，以加速器件开发并最大限度地提高良率

俄勒冈州波特兰，12 年 2019 月 2019 日/美通社/ -- 赛默飞世尔科技今天在 <> 年国际测试与故障分析研讨会 （ISTFA） 上宣布推出 Thermo Scientific Metrios AX，这是世界上第一款商业发布的扫描透射电子显微镜 （S/TEM），它使用机器学习自动进行高质量数据收集。Metrios AX 专为半导体行业设计，使实验室操作员能够快速生成准确和精确的数据，同时最大限度地减少对操作员培训的需求。

Metrios AX 使半导体实验室能够在开发或支持制造过程中自动采集和测量半导体器件的关键尺寸。将机器学习整合到仪器中有助于最大限度地减少开发自动化配方所需的时间，从而提高显微镜的利用效率。Metrios AX 基于赛默飞世尔的超高分辨率 Spectra 平台构建，融合了多项改进，可以更轻松地自动化重复性工作，获得具有更高对比度的亚埃分辨率图像，并保持显微镜自动对准以获得最佳性能，所有这些都比传统 S/TEM 的每样品成本更低。

• 
  

  查看文件 下载文件

ThermoScientific MetriosAX 

赛默飞世尔副总裁兼半导体总经理Glyn Davies表示：“Metrios AX是专门为改进故障分析、工艺认证和计量而设计的，可帮助半导体实验室轻松创建自动化工作流程，从而提高生产力。这种创新的S/TEM消除了自动化的障碍，使半导体制造商能够快速访问他们需要的可信数据，以便他们能够迅速做出高度明智的决策。

机器学习技术是 Metrios AX 中包含的“智能自动化”的核心。该技术通过协调所有必要的指令来识别、对齐和成像样品中的感兴趣区域，从而简化了自动化。智能自动化显著减少了创建和维护自动化工作流程脚本或“配方”所需的时间，同时有效地处理了流程的可变性。增强的自动化使半导体实验室能够在不到四个小时的时间内获取有关新样品作业的数据。Metrios AX 还具有“智能对准”软件，可自动调整色谱柱对准，确保收集的数据符合严格的计量精度规范。

Metrios AX 继承了 Spectra 产品系列的所有功能，包括新的高灵敏度 Panther S/TEM 探测器基础设施和增强型 （SCORR） 校正器技术，它们共同提供行业领先的低剂量、高对比度、无损伤的亚埃分辨率成像。

关于赛默飞世尔科技
赛默飞世尔科技是全球领先的科学服务公司，年收入超过 24 亿美元，在全球拥有约 70,000 名员工。我们的使命是让我们的客户让世界更健康、更清洁、更安全。我们帮助客户加速生命科学研究，解决复杂的分析挑战，改善患者诊断，将药物推向市场并提高实验室生产力。通过我们的顶级品牌 - Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific 和 Unity Lab Services——我们提供无与伦比的创新技术、购买便利和综合服务组合。欲了解更多信息，请访问 thermofisher.com。