赛默飞世尔科技宣布推出新一代全自动 （S）TEM 计量解决方案，以提高半导体制造的生产力和数据质量保证

Thermo Scientific Metrios 6 扫描透射电子显微镜 （（S）TEM） 旨在满足行业对快速访问大容量、高质量数据的需求;全新设计的硬件和先进的机器学习技术旨在优化性能并降低运营费用

俄勒冈州希尔斯伯勒--（美国商业资讯）-- 赛默飞世尔科技是科学服务领域的全球领导者，推出了 Thermo Scientific™ Metrios™ 6 扫描透射电子显微镜 （（S）TEM），这是一种新一代全自动 （S）TEM 计量解决方案，旨在帮助提高生产力并为大批量半导体制造提供数据质量保证。

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Thermo Scientific Metrios 6 （S）TEM（照片：美国商业资讯）

与上一代 Thermo Scientific Metrios （S）TEM 相比，Metrios 6 （S）TEM 可实现全自动 TEM 计量和表征工作流程，平均生产率提高高达 20%。

半导体器件 3D 架构越复杂，深入的计量和表征过程必须越精确。作为高影响力创新领域公认的领导者，赛默飞世尔亲眼目睹了当今设备中原子级 3D 复杂性正在推动对高度自动化 （S）TEM 平台的需求，以便更快地访问大量高质量数据并帮助加快学习周期。

Metrios 6 （S）TEM 旨在提高生产率并加速数据采集，从而促进良率提高并缩短上市时间，它结合了行业领先的硬件和机器学习算法，可快速从复杂设备和新型材料中获取大量高质量数据。

赛默飞世尔科技副总裁兼半导体总经理Mohan Iyer表示：“在当今日益复杂的技术环境中制造半导体不仅需要高通量和资源优化，还需要比以往任何时候都更大量的TEM数据。“为了应对这些挑战，我们很自豪地推出Metrios 6自动化（S）TEM测量解决方案，该解决方案通过创新的硬件进步和强大的软件增强功能来提高生产力。借助 Metrios 6 显微镜，半导体制造商现在可以更快地访问可操作的数据，同时提高工具和人力资源生产力，从而加快半导体开发周期。

与前几代 Metrios 相比，新特性和功能包括：

• Smart Stage 全自动样品插入和回缩机制消除了手动操作和潜在的人为错误，使客户能够以更快的速度进行高分辨率成像。

• 新型 Thermo Scientific Ultra-X EDS 检测系统提供快速成分表征和元素映射，以简化对光束敏感度最高的材料的具有挑战性的分析，并使数据收集速度至少提高两倍。

• 新设计的物镜和光源创新可在几分钟内实现电压切换，而不是几小时，具有更高的 （S）TEM 和 EDS 采集效率，分辨率也不折不扣。

• 支持机器学习的自动化消除了常规 （S）TEM 分析的繁琐配方生成，并提供了自动化工作流程，无需使用高技能操作员即可灵活地生成大量数据。

了解有关 Thermo Scientific Metrios 6 （S）TEM 的更多信息： https://ter.li/83u7c5

关于赛默飞世尔科技
赛默飞世尔科技公司是全球科学服务的领导者，年收入超过 40 亿美元。我们的使命是让我们的客户让世界更健康、更清洁、更安全。无论我们的客户是加速生命科学研究、解决复杂的分析挑战、提高实验室的生产力、通过诊断改善患者健康，还是开发和制造改变生活的疗法，我们都会为他们提供支持。我们的全球团队通过我们行业领先的品牌（包括 Thermo Scientific、Applied Biosystems、Invitrogen、Fisher Scientific、Unity Lab Services、Patheon 和 PPD）提供无与伦比的创新技术、采购便利和制药服务组合。欲了解更多信息，请访问 www.thermofisher.com。

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来源：赛默飞世尔