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赛默飞推出Spectra Ultra透射电镜：先进材料表征飞跃进展
美国时间2021年3月3日-赛默飞世尔科技，科学服务领域的世界领导者，宣布推出Thermo Scientific Spectra Ultra，全新一代扫描透射电子显微镜（S）TEM，能够在原子尺度上更好地洞悉各种材料的微观与化学结构。
相比于传统电镜数小时的稳定时间，全新的Spectra Ultra在数分钟内即可灵活优化高级成像和分析条件。出于加快材料研究进程以及高通量的需求，用户现在甚至可以以非常快的速度稳定地调节加速电压。这极大扩展了研究的样品范围，最大程度地减少了电子束损伤，并显著降低了工具的优化耗时。
Spectra Ultra配备了全新的能量色散X射线（EDX）分析系统Thermo Scientific Ultra-X，它具有目前在商业化（S）TEM中具有最大的检测器面积。结合全新的物镜设计，Thermo Scientific Ultra-X的X射线收集速度是目前市售解决方案的两倍，从而能够更好地分析对电子束更敏感的材料和样品，即使这些样品中以前因含量太低而完全无法检测到的痕量元素也能够很好地表征出来。
Spectra Ultra在先进的Thermo Scientific Themis和Spectra平台的基础上，进一步降低了系统的复杂性，几乎所有用户都可以用它获得高质量高分辨率的数据。
“配置了Ultra-X的Spectra Ultra改变了材料科学研究人员和半导体从业者的游戏规则。它可以通过迅速施加不同的加速电压来显著减少电子束损伤，并且用户将能够检测极低浓度的轻元素。”赛默飞世尔材料科学副总裁Rosy Lee说，“此外，与其他商业化解决方案相比，用户可以以更高的分辨率快速成像快速分析，以研究新材料和改进现有材料。”
半导体副总裁Glyn Davies表示：“随着半导体制造商接近当前工艺技术的物理极限，他们正在逐步扩大元素周期表中元素的使用范围，以期找到能够提供新兴应用所需的功率、效率和性能的解决方案。Spectra Ultra提供了业界领先的（S）TEM分析和表征功能，可以帮助他们满足对先进材料解决方案的需求。”
Spectra Ultra（S）TEM的新功能包括：
恒定功率的透镜与电子光学设计使用户能够将仪器快速调整至适合其工作的最佳加速电压。
Ultra-X EDX检测器将商业化电镜的EDX mapping耗时与元素检出限降低了一半。
具有探测单电子的能力，极大提高了成像灵敏度，从而可以对软材料进行高分辨率表征。
适用于材料的基础研究开发和改进的原子级分析能力。
可选的超高亮度X-CFEG（冷场）电子枪，与Spectra Ultra结合使用时，可提供行业领先的成像衬度和分析性能。
这些突破性技术为材料科学家提供了更多的研究可能性。EDX可在极低电子剂量和极短时间内对电子束敏感样品进行原子级的分析。在单次实验中快速优化成像和分析条件的灵活性意味着能够更快地对同一个样品中的硬质和软质材料进行3D表征，从而加快了产品开发研究的速度。随着吞吐量的增加和检测器收集效率的提高，多用户设施可以为各种项目提供更大的可访问性。
易于使用的Spectra Ultra使半导体研究人员能够更快，更可靠地分析器件和结构。Spectra Ultra拥有目前功能最强大的商业化EDX系统，并可以即时切换加速电压，能够极大促进先进技术节点上新的存储器和逻辑设备的开发。
