利用 Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱仪系统采集角分辨能谱，无须倾斜样品即可无损表征超薄薄膜

新型技术产品所依赖的是固体近表面区域的设计。对于这种类型的材料，包括自组装单层、表面改性聚合物和半导体设备，确定表面几纳米的成分是关键。通过使用平行角分辨 XPS (PARXPS) 和能够提供准确精密结果的 Avantage 数据系统的先进软件，Theta Probe X 射线光电子能谱仪系统能够帮助您做到这一点。

描述

Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱仪系统特性：

专利的弧透镜技术，提供 60° 平行角范围内收集角分辨 XPS 能谱的能力

X 射线单色器具有用户可选择的光斑尺寸（15 至 400 μm）

系统能够处理大样品或多个样品

CCD 样品对齐显微镜与样品表面垂直。

透镜、分析仪和检测器

弧透镜利用大接收角 (60°) 收集光电子

大角度可以最大程度提高灵敏度，并且允许在 PARXPS 测量中收集大角度范围

透镜轴与样品法线成 50°，因此可以收集 20 至 80° 角度范围的电子（相对于样品法线）

180° 半球型分析器在输出端配备一个二维检测器

二维检测器提供多通道检测，多达 112 个能量通道和 96 个角度通道

透镜有两种操作方式：传统模式和角度分辨模式

X 射线源

配备一个微聚焦单色器

X 射线光斑尺寸范围 15 - 400 μm

深度剖析

数控式 EX05 离子枪可用于提供深度剖析，哪怕在使用低能离子源时也有着很好的性能

深度剖析可使用方位角样品旋转

样品处理

全电动样品台，能够实现 5 轴移动

样品台可容纳大样品——X 和 Y 轴上的移动范围为 70 mm，Z 轴上的移动范围为 25 mm（高度）

真空系统

5 mm 厚高导磁?金属分析室，最大程度提高磁屏蔽效率

与使用内部或外部屏蔽的方法相比，屏蔽效能更佳

Avantage 数据系统

集成了测试分析的所有方面，包括仪器控制、数据采集、数据处理和报告生成

允许远程控制，并且可轻松与第三方软件交互（例如 Microsoft Word）

管理从样品载入到报告生成的整个分析过程

赛默飞XPS THETA PROBE X射线光电子能谱信息由苏州德汇科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于赛默飞XPS THETA PROBE X射线光电子能谱报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途