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Rtec-台阶仪

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参考报价: 面议 型号: UP-Dual
品牌: Rtec 产地: 美国
关注度: 16 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
供应商性质生产商产地类别进口
价格范围20万-30万
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特点

集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。

技术参数


项 目 简 述参数说明
1. 共焦

l可快速垂直扫描的旋转共焦技术

l使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°) 

l具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置

l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制

l应用于透明层/薄膜

l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC

l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选

l高稳定性

2.干涉仪(WLI)

lZ向高分辨率

l兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式

lZ向分辨率可独立放大 

l四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿光、蓝光和红光)

l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

l快速处理器

l自动对焦

3.原子力显微镜

l探针扫描可用于大型模板

lX、Y、Z三向可达原子级分辨率

l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um

4.变焦

l粗糙表面分析

l快速分析

l特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜





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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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